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激光共聚焦显微镜主要系统包括些什么?

发布时间:2021-09-23      点击次数:37
  激光共聚焦显微镜可用于准确可靠的三维(3D)测量,实时共聚焦显微镜图像可以通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现。这是用于测量和检查微3D结构的有前途的解决方案,例如半导体晶片、FPD产品、MEMS设备、玻璃基板和材料表面。
  激光共聚焦显微镜采用高级光学系统,可通过无损观察产生高质量图像,进行精细的3D测量。制备操作也非常简单,无需对样品进行预处理。是在传统光学显微镜的基础上,利用激光为光源,利用共轭聚焦原理和装置,通过计算机对被观察物体进行数字图像处理的一套观察、分析和输出系统。主要系统包括激光光源、自动显微镜、扫描模块(包括共焦光路通道、针孔、扫描镜和探测器)、数字信号处理器、计算机和图像输出设备(显示器、彩色打印机)等。
  激光共聚焦显微镜配备两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统),可获取颜色信息、高度信息和高分辨率图像。405nm紫色激光和高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷。简单的分析功能可以仅在测量范围内测量步长、线宽、表面粗糙度和体积。自动检测测量结果变化的原因(如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值),保持测量结果稳定,不受操作者技能水平的影响。
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