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首页 > 产品中心 > 激光共聚焦显微镜 > NS3800 > NS3800高速3D激光共聚焦显微镜

高速3D激光共聚焦显微镜

简要描述:NS3800高速3D激光共聚焦显微镜是韩国Nanoscope Systems 公司专门为低维材料研究所研发的一款高速3D显微镜。与传统的3D探针轮廓仪相比较,NS3800使用405nm的激光作为光源,进行无损伤检测,不与样品的表面直接接触,因此不会损伤样品的表面,测量精度远远高于探针轮廓仪。

  • 产品型号:NS3800
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-08-27
  • 访  问  量:331

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详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口应用领域能源,电子,航天,汽车

NS-3800是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面提供多样化的解决方案。

Features & Benefits(性能及优势):

  • 高分辨无损伤光学3D测量                               自动倾斜补偿

  • 实时共焦成像                                                 简单的数据分析模式

  • 多种光学变焦                                                 双Z扫描

    大范围拼接                                                    半透明基材的特征检测

  • 实时CCD明场和共聚焦成像                            无样品准备

  • 自动聚焦

Application field(应用领域):

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如

-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案

-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析


Dimension(尺寸):

Specification (规格):

Model

Microscope  NS-3800

备注

物镜倍率

10x

20x

50x

100x


观察/  测量范围  

水平 (H): μm

1400

700

280

140


垂直 (V): μm

1050

525

210

105


工作范围: mm

16.5

3.1

0.54

0.3


数值孔径(N.A.)

0.30

0.46

0.80

0.95


光学变焦

x1 to x6


总放大倍率

178x to 26700x


观察/测量光学系统  

Pinhole共聚焦光学系统


高度测量

测量扫描范围

Fine scan : 100 μm (and/or) Long scan : 7 mm [NS-3800L]

注 1

Fine scan : 400 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800D]

Fine scan : 200 μm (and/or) Long scan : 10 mm [NS-3800T]

显示分辨率

0.001 μm


重复率 σ

0.010 μm

注 2

宽度测量

显示分辨率

0.001 μm


重复率 3σ

0.02 μm

注 3

帧记忆

像素

1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


单色图像

12 bit


彩色图像

8-bit for RGB each


高度测量

16 bit


帧速率

表面扫描

20 Hz to 160 Hz


线扫描

~8 kHz


自动功能

自动增益


激光共焦测量光源

波长

405nm


输出

~2mW


激光等级

Class 3b


激光接收元件

PMT (光电倍增管)


光学观察光源

10W LED


光学观察照相机

成像元件

1/2" 彩色图像 CCD 传感器


记录分辨率

640x480


自动调整

增益, 快门速度, White balance


数据处理单元

PC


电源

电压

100 to 240 VAC, 50/60 Hz


电流

500 VA max.


重量

显微镜

Approx. ~50 kg

(Measuring head unit : ~12 kg)


控制器

~8 kg


隔振系统

气浮隔振系统

Option

               

注1:精细扫描由压电执行器(PZT)执行。

注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1μm)进行100次测量。      

注 3 :以100×/ 0.95物镜对标准样品(5μm间距)进行100次测量。



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